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Electrones retrodifundidos.

Los electrones incidentes pueden tener pocas interacciones elásticas con grandes ángulos de dispersión, lo que puede provocar que abandonen la muestra por la superficie irradiada. La fracción de electrones retrodifundidos, conocida como coeficiente de retrodispersión $\eta$ , depende fuertemente del número atómico del material, creciendo desde menos del 10% para el carbono hasta más de 50% para el uranio. Esta dependencia se evidencia en un contraste de número atómico, de modo que la detección de esta señal puede brindar información acerca de la composición química de la región irradiada.

Mediante el mecanismo de barrido descripto más arriba se consigue una imagen de electrones retrodifundidos, cuya resolución está limitada por el ensanchamiento natural del haz en el material irradiado, ya que los electrones que emergen tienen preferentemente energías muy próximas a la de incidencia.