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Las interacciones de los electrones
incidentes incluyen las ionizaciones, por lo que los electrones arrancados
de los átomos de la muestra pueden eventualmente emerger también por la
superficie irradiada. Estos electrones poseen energía mucho menor que la de
los electrones primarios: la gran mayoría alrededor de 3eV, pudiendo excepcionalmente llegar a algunas decenas de eV. Por consiguiente sólo pueden
provenir de capas superficiales del material estudiado, de modo que el
ensanchamiento del haz no limita tanto la resolución, que guarda una íntima
relación con el ancho de sonda que se logra sobre la muestra. Más precisamente, los electrones primarios pueden producir una señal de electrones secundarios restringida al área directamente irradiada; esta señal está montada sobre una meseta correspondiente a la señal de electrones secundarios arrancados por los electrones retrodispersados, de manera que adecuando la ganancia de los detectores, la resolución espacial está relacionada con la región impactada por los electrones incidentes. Por convención, todos los electrones que emergen del material irradiado con energía menor que 50eV son tenidos en cuenta como secundarios.
El número medio de electrones secundarios que produce cada electrón incidente varía aproximadamente entre 0,1 y 0,2, sin cambiar demasiado con 
.
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Gustavo Castellano 15/05/2009