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Electrones Auger.

Las ionizaciones provocadas pueden relajar a través de la emisión Auger, que también proporciona información proveniente de la superficie del material irradiado. Las energías $E_A$ de los electrones Auger están bien definidas, ya que debe compensarse el decaimiento del átomo llevando una vacancia de la capa con energía de ligadura $E_1$ a otra con energía de ligadura $E_2$ , y vencer la energía de ligadura $E_3$ de la capa de donde ``proviene'' el electrón Auger, además de la función trabajo $W$ correspondiente al potencial electrostático aplicado a la muestra:

$$E_A = (E_1-E_2) - (E_3+W) \;.$$