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Espectro de rayos x.

Al igual que en XRF, las líneas características están montadas sobre un espectro continuo, originado en el frenado de los electrones en el material. Sin embargo, la secuencia de dispersiones elásticas e inelásticas con la consiguiente pérdida gradual de la energía de los electrones hace imposible contar con una expresión cerrada para cuantificar en microanálisis de manera similar al método de parámetros fundamentales. Diversos modelos han sido propuestos para disponer de alguna expresión que permita asociar intensidades con concentraciones, de las cuales las más confiables están basadas en la distribución de ionizaciones con la profundidad, que desarrollaremos a continuación.