Se define así a la distancia
(normal a la superficie) a la cual la
intensidad del haz reduce su valor en
. Siguiendo la notación
incorporada en la sección anterior, puede mostrarse que la expresión
correspondiente es
Típicamente esta profundidad de penetración ronda los 5nm cuando
el ángulo de incidencia es aproximadamente
La figura muestra un gráfico de
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