Se define así a la distancia
(normal a la superficie) a la cual la
intensidad del haz reduce su valor en
. Siguiendo la notación
incorporada en la sección anterior, puede mostrarse que la expresión
correspondiente es
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Típicamente esta profundidad de penetración ronda los 5nm cuando
el ángulo de incidencia es aproximadamente
La figura muestra un gráfico de
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