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Vacío.

El sistema de vacío es crucial, pues para no degradar el haz el vacío debe ser al menos de 10$^{-1}$ Torr (mmHg) = 13,332Pa. Los equipos complementan una bomba rotativa con una bomba difusora para tener vacíos menores a 10$^{-3}$ Pa, evitando al máximo posibles oxidaciones del filamento. Esto hace que pueda contaminarse el punto de impacto del haz con depósito de carbono proveniente de hidrocarburos del aceite del sistema de vacío, con la potencial alteración de las intensidades medidas. Mediante un `dedo frío' (por ej. de cobre) en las proximidades de la muestra se favorece la condensación de esas moléculas espurias, reduciendo la presión parcial de los vapores residuales.