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(perpendiculares al
eje de la columna) y en 
(paralelos al eje) para caracterizar
diferentes áreas del material analizado. El portamuestras propiamente dicho
suele ser metálico, para facilitar una descarga a tierra con un amperímetro
que releve la corriente de espécimen, y habitualmente se lo diseña para
albergar varias muestras y patrones, con el objeto de evitar pérdidas de
tiempo al recuperar el vacío entre espectros de diferentes
materiales.1
Los equipos modernos suelen incluir un microscopio óptico con una lente objetivo reflectora coaxial con el haz, lo que permite visualizar la muestra durante la irradiación, para tener certeza de que los rayos x se emiten desde un plano bien definido, como lo requiere el análisis con espectrómetros WDS. Los microscopios ópticos permiten también observar la cátodoluminiscencia, que es la emisión de luz que se produce en algunos materiales al irradiar con electrones; de este modo se puede relevar exactamente el punto de impacto del haz.