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Daño por irradiación.

La mayor parte de la energía de los electrones se convierte en calor en el punto de impacto, es decir concentrado en una región muy reducida. Si la energía de incidencia $E_o$ se expresa en keV y la corriente $i$ del haz en $\mu$ A, el aumento de temperatura en K puede estimarse como

$$\Delta T = 4,8 \frac{E_o i}{k d} \:,$$

donde $k$ es la conductividad térmica (Wcm$^{-1}$ K$^{-1}$ ) y $d$ el diámetro del haz en $\mu$ m. En metales este aumento es despreciable, pero en materiales de baja conductividad térmica, este calentamiento puede superar los 100K fácilmente, lo que puede dar lugar a pérdidas irregulares de material, anulando todo el esmero puesto en el pulido y modificando en general la composición de la muestra.