Los procesos elementales que ocurren al irradiar un material con un haz de electrones son interacciones elásticas e inelásticas, aunque la señal final es el resultado de la difusión que éstos sufren como consecuencia de la pérdida gradual de la energía, y del ensanchamiento de las trayectorias del haz (straggling) en virtud de las sucesivas deflexiones que sufren los electrones. Evidentemente, aquí se pone en evidencia la importancia del concepto de `rango' de los electrones, en cualquiera de sus definiciones. En particular, como consecuencia de las sucesivas interacciones que va sufriendo el electrón, se torna imposible la descripción de las trayectorias, y sólo puede recurrirse a valores medios.