En esta técnica se emplea un tubo de rayos x para proveer un haz colimado de
fotones que incide en forma rasante en un sustrato plano sobre el
que se deposita una muestra delgada que se desea caracterizar. El término
rasante alude al hecho de que por debajo de cierto ángulo de incidencia
crítico la radiación electromagnética no penetra en el material del sustrato
irradiado, de modo que la radiación proveniente del mismo (dispersada y
fluorescente) es mínima, con lo cual la relación pico-fondo para las líneas
características correspondientes a la muestra delgada será muy alta,
permitiendo alcanzar niveles de detección mínima unas cien veces menores que
en XRF convencional (
ppm).
Si bien el fenómeno de la reflexión total fue descubierto por Compton en 1923 y estudiado en general por diversos investigadores, su incorporación como herramienta analítica a los espectrómetros de rayos x fue realizada por primera vez en 1971 por Yoneda e Horiuchi, y luego ampliada y acondicionada por Wobrauschek a partir de 1974. En general, los dispositivos de reflexión total para XRF (TXRF o TRXRF) se utilizan con espectrómetros dispersivos en energía, y el análisis puede involucrar dos objetivos diferentes: el análisis de la muestra delgada que se coloca sobre el sustrato plano mencionado más arriba, o bien la caracterización superficial de la muestra plana que se utiliza en la condición de reflexión total.